檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Miin-Horng Juang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="光波導"
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本論文中主要利用完善的次微米波導原理、I-Line微影技術以及0.02 高解析度光學步進馬達來證實我們所製作出來的高效率矽線波導。損耗造成的主要原因為表面的射散問題,所以最佳的蝕刻氣體流量控制以及硬…
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矽光電將成為下世代的光電、通訊及電子產業帶來革新。這個新技術因能提供與現有的互補金屬氧化半導體製程相容的優勢,許多的團隊對此研究感到關切。近幾年來的進展將使得商用化的矽光電應用產品於不久的將來出現。…